檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "楊宏智".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="材料移除率"
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單晶碳化矽基板(Silicon Carbide, SiC)在功率元件市場的潛力極大,但單晶碳化矽基板因高硬度及抗化學性等特質,造成製造過程面臨加工時間冗長等問題。本研究主要研究4H單晶碳化矽基板的研…
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在半導體積體電路製程中,局部拋光液膜中奈米粒子磨粒之動能在化學機械拋光過程中扮演重要角色。本研究使用電致動力技術 (Electro-Kinetic Force, EKF)配合高精密拋光機,利用電雙層…